真空泵的分類(lèi)讓很多外行人員摸不清楚，上海飛魯真空泵廠技術(shù)人員將完整的真空度分類(lèi)整理如下，希望對(duì)大家有所幫助。真空泵按照工作原理可分為兩大類(lèi)：
一、氣體輸送泵
1、變?nèi)荼?
①往復(fù)式真空泵—主要包括隔膜真空泵、活塞往復(fù)真空泵
②旋轉(zhuǎn)泵
a、油封泵—旋片式真空泵、定片真空泵、滑閥真空泵
b、無(wú)油泵—往復(fù)式真空泵、多級(jí)羅茨真空泵、爪式真空泵、渦旋真空泵、螺桿真空泵
c、液環(huán)真空泵—水環(huán)式真空泵、油環(huán)真空泵
d、羅茨真空泵—普通羅茨真空泵、氣體循環(huán)冷卻羅茨真空泵
2、動(dòng)量傳輸泵
a、分子泵—渦旋分子泵、牽引分子泵、復(fù)合分子泵
b、噴射泵—水噴射真空泵、氣體噴射泵、水蒸氣噴射泵
c、擴(kuò)散泵—油擴(kuò)散泵、油擴(kuò)散增壓泵
二、氣體捕集泵
分子篩吸附泵、吸氣劑泵、鈦升華泵、濺射離子泵、低溫泵、冷凝泵
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