(1)依據(jù)空載時(shí)真空室需要達(dá)到的極限真空來(lái)確定真空機(jī)組主泵的類型。選取主泵的極限真空要比真空室的極限真空高，通常高半個(gè)數(shù)量級(jí)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
(2)根據(jù)真空泵在工藝生產(chǎn)過(guò)程中所要求的工作壓力來(lái)選主泵。常用的真空泵的工作壓力范圍。真空室的工作壓力一定要保證在主泵最佳抽速壓力范圍內(nèi)。
(3)根據(jù)工藝生產(chǎn)中所放出的氣體量,真空室內(nèi)放氣量及系統(tǒng)的總泄漏氣量來(lái)選擇主泵的大小。
(4)根據(jù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)選取主泵。在同樣能滿足工作壓力和抽氣速率要求的真空泵中，進(jìn)行投資費(fèi)用和日常維護(hù)運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用對(duì)比，選取性價(jià)比好的主泵。 |
