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油擴(kuò)散泵的發(fā)展趨向特點(diǎn)

(1)采用飽和蒸氣壓低，性能好的新工作液，以提高泵的極限真空。如聚苯醚、聚乙烯醚等。現(xiàn)在普遍使用的是硅油。

(2)改進(jìn)結(jié)構(gòu)，提高抽速。

(3)降低泵的反油率。例如在擋板敷聚四氟乙烯可使返油率大為減少。

(4)縮短泵的啟動(dòng)時(shí)間。

(5)擴(kuò)大抽氣工作壓強(qiáng)范圍，國外在0.4~10-8Pa之間，抽速不變。

(6)提高最大反壓強(qiáng)，國外較好的泵排壓在79.99-106.66Pa之間。