真空系統(tǒng)中真空泵所用的材料可分為結(jié)構(gòu)和輔助材料。前者是構(gòu)成真空系統(tǒng)的主要材料.它將真空與大氣隔開。承受大氣壓力一般是金屬和/或玻璃。后者指彈性密封材料、絕緣材料、金屬密封材料。吸附劑(用于吸水、擋油和吸氣的物理的、物理化學的和化學的吸附劑)和真空油脂材料(真空泵油、真空脂、真空泥、真空蠟、真空漆、真空密封膠)等等。

科學技術(shù)的發(fā)展，特別是計算機、微電子、生物工程、材料科學、表面科學、航天和航海工程等領(lǐng)域的快速發(fā)展，對真空科學的要求越來越高。例如，在納米級電子材料和元器件的開發(fā)中，不僅要求真空系統(tǒng)達到超高真空和真空氣氛清潔無油.而且要耐腐蝕、耐粉塵。為此.制造各種干式泵、耐腐蝕泵，進一步發(fā)展磁懸浮式分子泵和以陶瓷轉(zhuǎn)子取代金屬轉(zhuǎn)子來避免由于強磁場及等離子體而產(chǎn)生渦流發(fā)熱的新型渦輪分子泵等真空獲得設(shè)備，是很必要的。在真空測量方面，我國與國外也存在較大的差距，主要表現(xiàn)在真空規(guī)管的結(jié)構(gòu)、電子線路的設(shè)計、集成電路和自動換擋及數(shù)字顯示等新技術(shù)的采用上，以及極高真空測量和特殊條件下的真空測量。促進我國真空測量儀器技術(shù)向多用化、自動化及體積小、外形美等方面發(fā)展，是一項艱巨任務。