旋片真空泵是一種油封旋轉(zhuǎn)抽氣機(jī)，又叫蓋德泵，主要由定子，轉(zhuǎn)子及滑片等組成。轉(zhuǎn)子偏心裝在定子中，并與定子內(nèi)壁頂點(diǎn)相切。轉(zhuǎn)子上裝有兩個(gè)能滑動(dòng)的滑片，靠彈簧和轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)離心力的作用而緊緊貼在定子壁上。轉(zhuǎn)子和滑片將定子分成吸氣腔、貯氣腔和排氣腔。由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)滑片使吸氣腔不斷擴(kuò)大而吸氣.而排氣腔中氣體逐漸被壓縮，直到其中壓力超過(guò)大氣壓時(shí)，排氣閥片被打開(kāi)，氣體被排到大氣中去。
為防止排出氣體返流泵內(nèi)，特將排氣閥用油覆蓋密封。真空泵油對(duì)定子、轉(zhuǎn)子與滑片之間除潤(rùn)滑作用外，也還有密封作用，另外，泵油充滿泵腔內(nèi)一切有害空間，消除它們對(duì)極限真空的影響。
普通旋片真空泵，多用于抽除純凈干燥氣體，若抽除含有大量凝聚氣的氣體，則需選用旋片氣鎮(zhèn)(閥)真空泵。有氣鎮(zhèn)閥安裝于“貯氣腔”，它會(huì)開(kāi)啟吸入一定數(shù)量的空氣，其分壓超過(guò)抽氣空腔中水蒸氣壓力的幾倍，到排氣腔時(shí)，水蒸氣的分壓還低于飽和蒸氣壓，故不會(huì)凝結(jié)成液體水滴，而保持氣態(tài)與空氣一起排出泵外。
旋片式真空泵可作獨(dú)立獲得低真空的設(shè)備，極限真空約為6.7x10-1Pa，廣泛應(yīng)用于真空冶金、真空運(yùn)輸、真空澆鑄、醫(yī)療器械、冷凍干燥、真空浸漬、真空熱處理等行業(yè)。旋片式真空泵也可以作為高真空泵的前級(jí)泵和預(yù)抽泵，如作為油擴(kuò)散泵、羅茨泵、油蒸氣噴射泵、渦輪分子泵的前級(jí)泵、濺射離子泵的預(yù)抽泵。還可構(gòu)成抽氣機(jī)組，用于國(guó)民經(jīng)濟(jì)各個(gè)領(lǐng)域。
