1、隔膜閥

圖1所示為隔膜式真空閥。隔膜閥適用于真空系統(tǒng)的接通或截止，它是利用閥桿將彈性體薄膜緊壓在閥座上來(lái)隔斷氣路。橡皮彈性薄膜上有一提鈕。提起提鈕，通道接通。反之壓緊就截止.如轉(zhuǎn)動(dòng)手輪可帶動(dòng)閥桿上、下移動(dòng)，使隔膜離開(kāi)閥座打開(kāi)閥門(mén)或使隔膜緊壓在閥座上關(guān)閉閥門(mén)。此種閥門(mén)如采用丁睛橡膠隔膜，適用于前級(jí)和預(yù)抽管道上及溫度為-25~80℃的非腐蝕性氣體。如采用氟橡膠隔膜，可用于高真空系統(tǒng)，使用溫度范圍為-30-1501℃。

2、真空球閥

圖2所示是真空球閥的結(jié)構(gòu)，該閥中的密封機(jī)構(gòu)是山兩個(gè)環(huán)狀彈性體緊壓于一個(gè)金屬球表面構(gòu)成。金屬球上有一個(gè)大穿孔，借助于手柄轉(zhuǎn)動(dòng)金屬球使穿孔改變方向，即可接通或切斷氣路。金屬球軸桿與閥體間的密封采用0形密封圈密封。

3、真空蝶閥

蝶閥的結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單，如圖3所示。閥板的邊緣上嵌有U形密封圈，閥板靠螺栓固定在傳動(dòng)軸閥桿上，使閥桿帶動(dòng)閥板轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)閥板上的密封圈與閥體緊密接觸時(shí)即實(shí)現(xiàn)了閥門(mén)的關(guān)閉。從關(guān)閉位皿始，閥板再轉(zhuǎn)動(dòng)90℃時(shí)，閥門(mén)即完全打開(kāi).該種閥門(mén)的主要優(yōu)點(diǎn)是體積小結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。