超高真空機組工作在10-6-10-10Pa超高真空壓力范圍，除了要求真空室的材料出氣率很

低、漏氣率很小、能經受200~450℃高溫烘烤外，對機組的要求還有:

(1)主泵的極限真空要高.至少在10-7~10-8Pa以上;

(2)在超高真空的工作壓力范圍內主泵具有一定的抽速;

(3)機組的主泵或主泵進氣口以上部分能承受200-450℃的高溫烘烤;

(4)來自主泵的返流氣體(包括工作液蒸氣及解析的氣體)的分壓力要足夠低。

(5)對被抽氣體選擇性強的主泵，要配備足夠大的輔助泵;

(6)機組主泵進氣口以上的管道、閥門等部件，材料的選擇和密封要特別慎重。一般采用出氣率較低的不銹鋼和采用金屬密封材料，以耐高溫烘烤。