一般真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)計(jì)算是以總放氣量Q為依據(jù)的，又根據(jù)冶金工藝過程的特點(diǎn)，也要以氣源的性質(zhì)作為設(shè)計(jì)的依據(jù)。即要求設(shè)計(jì)時(shí)對氣源的質(zhì)與量要并重來決定設(shè)計(jì)方案。

在真空冶煉過程中，氣源性質(zhì)的顯著特點(diǎn)是氣體溫度較高并含有大量灰塵，以及氧氣、氫氣的成分較多，有時(shí)還含有大量帶腐蝕性或有毒的氣體。因而在一些系統(tǒng)中，通常設(shè)有除塵器、過濾器、化學(xué)拼和低沮腆等，有時(shí)管路還需水冷。

有些帶腐蝕性氣體，如海綿欽的工藝過程，有氯化氫氣放出，粉塵物對機(jī)械泵油和泵體部件的腐蝕一也相當(dāng)嚴(yán)重，使泵油不得不經(jīng)常更換。根據(jù)工藝要求，采用羅茨泵和水環(huán)泵組成真空系統(tǒng)效果較好。

此外還有排出水蒸汽的問題。如真空系統(tǒng)從大氣開始抽空，在1~10-1Torr時(shí)開始放氣，而10-1~10-2Torr時(shí)，表面主要放氣是空氣中的水蒸汽。氣鎮(zhèn)泵可以部分地解決這個(gè)問題。在超高真空系統(tǒng)中的殘余氣體中氫氣較多，也可選用鋯鋁吸氣泵。

以不同的氣源性質(zhì)來選擇合適的抽氣設(shè)備，可使真空系統(tǒng)的作用得到充分的發(fā)揮。