電子束熔煉爐:電子束熔煉爐主要是利用電子束所發(fā)出的巨大熱能作為熔煉或合金的熱源進(jìn)行冶煉。它與真空感應(yīng)爐、.真空電弧爐所起的作用相同。由于熔煉的價(jià)格昂貴,所以只用于難熔金屬、活潑金屬或合金的熔煉。一般金屬大多在其它真空爐中冶煉。對(duì)于需要高溫以及對(duì)于要嚴(yán)格防止污染等特殊的場(chǎng)合下,有時(shí)也用電子束爐來(lái)熔解、精煉和鑄錠,其效果是很好的。
電子束熔煉爐與真空電弧爐的主要區(qū)別在于:在真空電弧爐中熔煉金屬或合金時(shí),熱量的來(lái)源來(lái)自電極和自耗電極之間的電弧。而電子束熔煉爐中熔煉各種材料的熱量來(lái)源于電子槍發(fā)出的具有高能密度的電子束。電子束熔煉可以避免電極的污染,還可以保持熔池,從而可以進(jìn)行徹底的純化,熔煉材料的形狀不受限制。
一般電子束熔煉爐由電子槍室和熔煉室組成。電子槍室可由機(jī)械泵和擴(kuò)散泵排氣,以獲得10-4~10-6Torr的真空度。熔煉室可由機(jī)械泵、增壓泵和擴(kuò)散泵組成或采用多級(jí)羅茨泵排氣,以獲得10-2~10-6Torr的真空度。