根據(jù)真空泵的性能,在各種應(yīng)用的真空泵系統(tǒng)中它可作為下列泵使用。
(1)主泵。在真空系統(tǒng)中,用來獲得所要求的真空度的真空泵。
(2)粗抽泵。從大氣壓開始,降低系統(tǒng)的壓力達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空度。
(3)前級(jí)泵。用以使另一個(gè)泵的前級(jí)壓力維持在其最高許可的前級(jí)壓力以下的真空泵。前
級(jí)泵也可以作粗抽泵使用。
(4)維持泵。在真空系統(tǒng)中,當(dāng)抽氣量很小時(shí),不能有效地利用主要前級(jí)某,為此,在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級(jí)泵,維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所借之低壓
的真空泵。
(5)粗(低)真空泵。從大氣壓開始.降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。
(6)高真空泵。在高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。
(7)超高真空泵。在超高真空范圍內(nèi)工作的真空泵。
(8)增壓泵:裝于高直空泵和低直空泵之間,用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍內(nèi)的抽氣量或降低前級(jí)泵容里要求的真空泵(如機(jī)械增壓泵和油增壓泵等)。 |