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真空泵氣體微流量表靜態(tài)比擬法
發(fā)布時(shí)間：2013-12-23 標(biāo)簽：
真空泵
要是出現(xiàn)真空漏孔該怎么進(jìn)行校準(zhǔn)呢？下面小編就為大家
介紹
一種氣體微
流量
表靜態(tài)比擬法，想了解的朋友來(lái)了解一下吧。
首先順次將真空漏孔流出的氣體QL和氣體微流量表流出的氣體Q，別離引人到一個(gè)真空室中，再經(jīng)過(guò)限流孔被
真空泵
抽走，比擬它們?cè)谡婵帐抑挟a(chǎn)生的靜態(tài)失調(diào)壓力輸入信號(hào)(別離為HL和Hs)，而后用式劃算出真空漏孔的漏率。
其實(shí)這種方式還是比較簡(jiǎn)單的，大家要是可以的話不妨就試試哦，相信會(huì)對(duì)大家有幫助的。
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